Thermo Scientific™ ExSolve DualBeam™ (FIB-SEM) je sistem za pripremu vafera za analizu transmisionim elektronskim mikroskopom (WTP). Značajno smanjuje troškove i povećava brzinu pripreme uzoraka, omogućavajući proizvođačima poluprovodnika i uređaja za skladištenje podataka brz i jednostavan pristup analizama potrebnim za praćenje i verifikaciju performansi procesa.
Thermo Scientific™ ExSolve DualBeam™ može pripremiti TEM lamelu s precizno određene lokacije na uzorku, uzorkujući veliki broj lokacija na vaferu u potpuno automatizovanom procesu koji se odvija unutar proizvodnog pogona.
Na ovaj način proizvođači poluprovodnika dobijaju znatno više informacija u odnosu na konvencionalne metode, uz istovremeno smanjenje kapitalnih troškova pripreme uzoraka do 70%.
