Thermo Scientific™ Helios 5™ EXL DualBeam je skenirajući elektronski mikroskop s fokusiranim ionskim snopom (FIB-SEM) za vafere pune veličine od 300 mm, dizajniran da odgovori na izazove pripreme uzoraka za transmisionu elektronsku mikroskopiju (TEM) u industriji poluprovodnika.
Thermo Scientific™ Helios 5™ EXL DualBeam može pripremati uzorke za najnaprednije tehnologije, uključujući gate-all-around strukture i najsitnije dijelove kola između dva elementa (node) ispod 5 nm.
