Napredni procesi proizvodnje logičkih kola i memorija sve se više oslanjaju na visok prinos preciznih strukturnih i analitičkih podataka. Ovi procesi zahtijevaju brzu kontrolu kvaliteta radi kalibracije kompleta alata, dijagnostikovanja problema u proizvodnji i povećanja prinosa proizvodnog procesa.
Kod tehnologije node (najmanji dijelovi kola između dva elementa) ispod 28 nm, posebno u slučajevima primjene 3D i naprednih dizajna uređaja, konvencionalni skenirajući elektronski mikroskopi (SEM) ili optički alati za analizu i inspekciju suočavaju se s izazovima koji ograničavaju njihovu sposobnost pružanja robusnih i pouzdanih podataka.
Thermo Scientific™ Metrios AX™ transmisioni elektronski mikroskop (TEM) pruža brzu i preciznu karakterizaciju i referentnu metrologiju potrebnu proizvođačima poluprovodnika za razvoj i kontrolu procesa proizvodnje vafera, što omogućava povećanje prinosa proizvodnje.
